Công sứ Pháp đầu tiên của tỉnh Hà Đông là Duranton (1904 - 1906).[2]

Tỉnh Hà Đông gồm 4 phủ: Hoài Đức (có thêm huyện Đan Phượng của tỉnh Sơn Tây nhập vào), phủ Mỹ Đức, phủ Thường Tín và phủ Ứng Hòa. Tỉnh lỵ tỉnh Hà Đông là thị xã Hà Đông, mà tên gọi cũ là Cầu Đơ.

Năm 1915, huyện Hoàn Long của thành phố Hà Nội (gồm một phần các huyện Thọ Xương, Vĩnh Thuận cũ và một số khu vực lân cận thuộc huyện Từ Liêm về sau) được sáp nhập vào tỉnh Hà Đông.

Nhưng đến năm 1942, huyện Hoàn Long được sáp nhập trở lại vào thành phố Hà Nội, đồng thời được chuyển thành Đại lý đặc biệt Hoàn Long.

Năm 1961, huyện Thanh Trì và một phần xã Kiến Hưng được chuyển về thành phố Hà Nội; 5 xã thuộc huyện Đan Phượng là Tân Dân (Thượng Cát), Tân Tiến (Liên Mạc), Trần Phú (Phú Diễn), Trung Kiên (Tây Tựu), Minh Khai và 3 xã: Hữu Hưng (Tây Mỗ và Đại Mỗ), Kiên Cương (Trung Văn), Xuân Phương, một phần các xã Vân Canh, Di Trạch thuộc huyện Hoài Đức cùng với một phần xã Vạn Phúc thuộc thị xã Hà Đông, được cắt chuyển về huyện Từ Liêm mới được thành lập.

Ngày 1 tháng 7 năm 1965, hai tỉnh Hà Đông và Sơn Tây sáp nhập thành tỉnh Hà Tây. Trước khi sáp nhập, tỉnh Hà Đông có tỉnh lỵ là thị xã Hà Đông và 8 huyện: Chương Mỹ, Đan Phượng, Hoài Đức, Mỹ Đức, Phú Xuyên, Thanh Oai, Thường Tín, Ứng Hòa.